LIDT Dienstleistung

Dank des LIDT-Messsystems in direkter Nähe und dem Messangebot von RhySearch war es innerhalb kurzer Zeit möglich, ganz flexibel schnelle Resultate von unseren Qualifizierungschargen zu bekommen. Durch dieses schnelle Feedback war eine quasi instantane Prozessoptimierung möglich.

Bernd Eiermann, WZW OPTIC AG

IBS-Schichten

Duale Ionenstrahlbeschichtung

Ionenstrahlzerstäuben (Ion Beam Sputtering IBS-Verfahren) ist als geeignete Technologie für die Herstellung hochwertiger optischer Beschichtungen bekannt. Die auf das Substrat auftreffenden Teilchen weisen im Vergleich zu anderen PVD-Beschichtungstechnologien höhere kinetische Energien auf. Dadurch sind besonders dichte, langzeitstabile und verlustarme Schichten auf verschiedenen Substraten möglich.

Mittels der dualen Ionenstrahltechnologie (DIBS) lassen sich die Eigenschaften der Schichten noch weiter verbessern. Meist werden von metallischen Targetmaterialien Atome abgetragen, um unter Zugabe von Sauerstoff das Schichtmaterial auf dem Substrat abzuscheiden und zu verdichten. Damit lassen sich beispielsweise höhere Laserzerstörschwellen (LIDT) erzielen.

 

Für optische Beschichtungen mit höchsten Ansprüchen ist die neue IBS-Anlage, eine neue SPECTOR-Anlage von Veeco Instruments, mit zwei Ionenstrahlen (Dual Ion Beam Sputtering DIBS) ausgestattet. Für eine hochpräzise Schichtabscheidung und Schichtdickenkontrolle ist die Anlage mit dem neuesten optischen Monitoring von Veeco ausgestattet, welche eine Charakterisierung und Kontrolle der aufwachsenden Schicht auf dem Substrat während des gesamten Beschichtungsprozesses erlaubt. Dadurch ist es möglich, selbst komplizierteste Beschichtungsdesigns aufzutragen.

 

RhySearch lädt interessierte Partner ein, neue Materialzusammensetzungen und optimierte Verfahrensschritte auf dieser Anlage zu erforschen um neue Produkteigenschaften zu erschaffen oder Produktverbesserungen zu erreichen. Gerne führt RhySearch für Sie und mit Ihnen Aufgaben aus, wie:

  • Machbarkeitsstudien
  • Forschungsprojekte
  • Prototypen und kleinere Vorserien

 

Sie erhalten:

  • Unterstützung bei der Entwicklung Ihrer Produktionsprozesse
  • detaillierte Berichte

 

Bezüglich weiterführender Informationen oder Fragen wenden Sie sich bitte an Dr. Andreas Bächli

 

Merkmale der IBS-Anlage

Targets für Ta2O5, HfO2, SiO2, weitere auf Anfrage
Substratgrösse bis 4 Zoll (ca. 10 cm), weitere auf Anfrage
VIS-NIR. optisches Monitoring
Hochgeschwindigkeitssubstrathalter für Uniformitäten besser als 0.1 %