Vortrag: In-process measurement for precision manufacturing of optical components

Am 30. November hält Dr. Thomas Liebrich einen Vortrag zum Thema: «In-process measurement for precision manufacturing of optical components» an der Konferenz der «Precision Photonic Systems», die parallel zur W3+ in Dornbirn stattfindet.

Die Herstellung optischer Komponenten stellt höchste Anforderungen an den Fertigungsprozess und an die Messtechnik, um typische Formabweichungen <100 nm zu erzielen. RhySearch wird ein Messverfahren, basierend auf einem 1D-Abstandssensor, vorstellen und auf die Herausforderungen in der Bestimmung der Sensorposition als auch -orientierung eingehen. Zudem wird eine Methode zur Abschätzung der Messunsicherheiten diskutiert. Der gesamte Prozess – von der Bearbeitung über die in-situ-Vermessung bis zur abschliessenden Korrekturbearbeitung – wird an einem ausgewählten Werkstück präsentiert.

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