Wir entwickeln Knowhow um dielektrische Schichten zu verbessern.
PRACMATIC: Praktische Kontrolle und zeitliche Überwachung von dielektrischen Beschichtungsprozessen
PRACMATIC konzentriert sich auf die Suche nach praktischen, industriellen Methoden zur Eliminierung der Partikelbildung während der Abscheidung dielektrischer Beschichtungen und auf die Entwicklung robuster, einfach zu bedienender und kosteneffizienter prozessbegleitender Diagnosewerkzeuge und Software zur Überwachung der Beschichtungsprozesse und der Partikelerzeugung.
