ForzA

Am 22. März 2022 wurde ein bedeutender Meilenstein erreicht: Die Forschungsanlage "ForzA" zur Dünnschichtabscheidung von RhySearch wurde erstmals in Betrieb genommen. Die mit Spannung erwartete Zündung der integrierten Ionenstrahlquelle von Bühler verlief erfolgreich. Durch Erreichen eines Ultrahochvakuums in der Beschichtungskammer konnten Forschungsfragen zur Dünnschichtabscheidung beantwortet werden.

ForzA ist ein integraler Bestandteil des Projekts "Ion Beam Sputtering of 2D Materials - A New Approach", das in Kooperation mit der ETH-Zürich und der OST-Ostschweizer Fachhochschule durchgeführt wird. Unterstützt von Innosuisse, der Schweizerischen Agentur für Innovationsförderung, widmet sich das Projekt der Abscheidung von 2D-Materialien mithilfe der Dünnschicht-Technologie Ionenstrahl-Sputtern.

Worum geht es bei ForzA?

Die Herausforderung bestand darin, eine Anlage zu entwickeln, die bisherige Beschichtungstechnologien übertrifft. ForzA wurde entwickelt, um höchste Flexibilität und Schichtvielfalt zu bieten, während gleichzeitig Kosten und experimenteller Aufwand minimiert werden sollten. Diese kompakte Anlage ermöglicht Temperaturbehandlungen im Vakuum mit einer Heizung von bis zu 1200°C und integriertem Laser für innovative Trends in der Dünnfilmtechnologie. Die Ionenquelle ermöglicht sowohl die Beschichtung mittels Ionenstrahlsputtern als auch Ätzvorgänge. Die Anpassung an spezifische Anforderungen erfolgt über eine konfigurierbare Steuerung. Sie führte bereits erfolgreiche Experimente mit der Ionenstrahl-Sputter-Quelle und 2D-Materialien durch, einschliesslich der Abscheidung von Graphen und Bornitrid. Diese Versuche lieferten wertvolle Erkenntnisse zur Synthese von Graphen und eröffnen neue Anwendungsmöglichkeiten in der Industrie. Rico Benz, Projektleiter bei RhySearch, betont die Bedeutung dieser Arbeit: "Mit ForzA und den 2D-Materialien widmen wir uns einem faszinierenden und zukunftsträchtigen Thema. Das Ziel ist, das enorme Potenzial dieser neuen Materialien voll auszuschöpfen und völlig neue Einsatzmöglichkeiten zu generieren."

 

Die Erfolge von ForzA markieren einen wichtigen Schritt in der Erforschung und Anwendung von 2D-Materialien und tragen zur Weiterentwicklung innovativer Technologien bei.

 

Kontakt: Heidi Thomé, Bereichsleiterin Optische Beschichtung, +41 (0)81 755 49 66

 

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