ALD ist eine vielseitige und interessante Technik zur Abscheidung einer Reihe von Materialien für verschiedene Anwendungen. Im Hinblick auf die Optikindustrie bestehen zwar noch Herausforderungen hinsichtlich der Abscheidungsrate, ALD eröffnet neue Möglichkeiten für Anwendungen und Komponenten, für die herkömmliche PVD-Techniken nicht geeignet sind.
Die ALD-Anlage bei RhySearch bietet eine Reihe von Material- und Prozessoptionen sowie fortschrittliche interne Tests der ALD-Materialeigenschaften im O2C-Charakterisierungszentrum. Hochwertige Oxid- und Flourid-Materialien stehen für eine Reihe von Anwendungen zur Verfügung, z. B. für optische Designs und Schutzschichten.
Es ist geplant, das Portfolio an Materialien und Prozessen bei RhySearch zu erweitern, um um das volle Potenzial der ALD für den zukünftigen Bedarf von Industrie und Forschung auszuschöpfen.
In diesem WhitePaper werden einige Grundlagen der ALD erläutert und die Vorteile und Herausforderungen, die sie für das optische Design bietet, dargestellt. Darüber hinaus wird die Beschichtungsanlage und die Entwicklung des ALD-Prozesses bei RhySearch beschrieben.
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