Die Herstellung dielektrischer optischer Beschichtungen mit geringer Partikeldichte bleibt eine Herausforderung und wird immer wichtiger, um eine hohe Produktionsausbeute und damit die Wettbewerbsfähigkeit der Schweizer Unternehmen zu gewährleisten. Das vorgeschlagene Konsortialprojekt PRACMATIC (Practical control and monitoring over time of dielectric coating processes) konzentriert sich auf die Suche nach praktischen, industriellen Methoden zur Eliminierung der Partikelbildung während der Abscheidung dielektrischer Beschichtungen und auf die Entwicklung robuster, einfach zu bedienender und kosteneffizienter prozessbegleitender Diagnosewerkzeuge und Software zur Überwachung der Beschichtungsprozesse und der Partikelerzeugung. 

Das vorgeschlagene Projekt wird das Fachwissen sowohl aus der Forschung als auch aus den Produktionsumgebungen der Konsortialpartner entlang der Prozesskette mit umfassenden Echtzeit-Abscheidungsprozessdaten, Messdaten von Proben zwischen den Abscheidungsläufen, neu entwickelten In-situ-Prozesskontrolldaten und verschiedenen Werkzeug- und Systemreinigungsverfahren kombinieren. Gemeinsam werden diese Daten genutzt, um fundierte Prozessentscheidungen zu treffen und gemeinsam innovative Systemreinigungs-, Abscheidungs- und Spülprozesse zu entwickeln sowie Prozesse für die einzelnen Partner zu implementieren und zu testen. Dies wird den Weg für zukünftige Produktionsprozesse ebnen, die eine vorhersagbare Qualität liefern.

Kontakt: Dr. Roelene Botha, Bereichsleiterin Optische Beschichtung, +41 (0)81 755 49 66

 

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